气体管路的
QC
气体管路的
QC
指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并
确保我们的产品的品质达到一定的水准。
(
1
)
通常大多数半导体厂的设备对我们的工作内容都不了解,他们所关心的是管路
是否歪斜?焊道是否标准?气体标签是否有贴等有关管路外观的问题。
所以
QC
人员对于管路外观的检查就显得格外重要,纵是管路内部的分析再怎么确实,
在客户眼里我们的品质一样是有瑕疵的,此也是我们应努力的方向之一,然大
多数刚接触
QC
的同仁对于要检查哪些外观都显得有些不知所措,故在附件一
概略列出检查的要项,盼对刚接触
QC
的人员有所帮助。
(
2
)
气体管路的五项测试:
气体管路的五项测试为
QC
最重要的一部分,
内容概略可分为
[
测漏
]
及
[
管路内的分
析
]
,前者如没做好而造成危险气体泄漏,除了对公司的声誉造成影响外,更严重
的是人的生命及安全都会受到威胁,
而后者则是影响到
wafer
的良率,也是不可忽
视的。以下就五项测试一一作介绍:
(一)
保压测试(
Pressure
)
目的:
保压测试的目的除了在检查管路,
接头是否有泄漏之情形外,
另一目的则是在于利用
高于工作压力之气体压力保持在一封闭管路内,
经过一段时间后及可侦测出管路焊道上是否
有沙孔
(沙孔会因过高的压力而造成泄漏)
以及衔接点是否可承受如此高的压力而不至泄漏,
以确保所有人员的安全。
原理:将待测管路通入
PN2
,使其压力达到管路正常使用压力的
1
。
1
倍或是
7
至
9
公斤之
间,
在一端接上记录器,
经过一段时间后检查是否有压降现象,
若无则表示该管路已通过保
压测试,反之,
则检查压降之原因,
并在原因排除后再做一次保压测试,直到完全没有泄漏
为止
步骤:
A
,
取得该机台之管路施工图,并一一核对下包商是否有按图施工?
B
,
将
Panel
入口端的接头松开,
并利用管路本身的气体将预
30
秒,
并检查
Takeoff
及管路是否正确?
C
,
将
Panel
出入口两端用新的
Gasket
衔接上,并将进机台端的接头
Cap
起来。
D
,
将
Panel
上的
Valve
及
Gegulator
开止
Open
位置。
E
,
将所有待测管路
Takeoff
端的接头用测试的管子串联起来,并于一端连接记录
器(
Recorder
)
。
F
,
使用
PN2
将管路内充满压力达
7~9
公斤,并检查所有压力表头是否有压力。
G
,
使用测漏液(
snoop
,其漏率可达
1
。
0*10-4
)对所有的接头作初步的测漏,尤