因此洁净室在关注污染控制的同时也应注意防止静电，下面就从3方面来述说一下静电的防止方法。
1、防止洁净室里产生静电
现在欧美、日本等国家在设计洁净室时已经不局限于防静电地板了，对洁净室隔断、墙壁及洁净的结构系统等都考虑在内。目前在设计时我们也会充分考虑到防静电的要求，如采用喷涂静电涂料、防静电蜡等来作为辅助措施或补救方法来克服静电。使洁净室不产生或少产生静电。
2、利用洁净室的空气、温湿度来控制
我们在设计洁净室时一般利用其固有的条件来消除静电。因为空气湿度在RH50%左右或温度在23℃左右条件下，其形式的空气导电会有良好的防静电环境。设计条件允许时尽量满足靠拢它。采用离子发生器也可消除静电和防止带静电等。
3、消除人体带电
静电放电在很多情况下是我们所不希望的，它在具有易燃易爆气体的场所极易导致危险的火灾。而且洁净室内的静电对产品的伤害是极大的，因此，洁净室静电的控制是不可忽视的。