按照国际标准化组织(ISO)领导的洁净室技术委员会ISO/TC209所编写的国际标准ISO14644“洁净室及相关受控环境”的第一篇中,关于洁净室的定义是这样叙述的:洁净室是“悬浮颗粒浓度受控的房间,该房间的建造和使用方法使得进入室内的及室内产生的和滞留的颗粒物最少,同时室内的温度、湿度和压力等相关参数也按需要受控。”这也就是说洁净室或洁净区的实质是“空气中悬浮颗粒物受控的空间。”对于一个按需要与标准建成的洁净室(区)既是一个“受控环境”或空间,其“受控”的状态或效果就必须通过检测、监测予以检验,同时也必然需要一整套运行管理的方法,以维持需要受控环境的各项参数与指标。
正是为了保证洁净室(区)这样一个特殊的受控环境或空间符合生产或科研的需要,达到设计的目标,在国际、国内的相关标准、规范和指南中制定了一系列有关洁净室(区)检测、监测及运行管理的方法和规章,这些文献既是指导与规范进行此项工作的理论依据,同时也是实施具体工作的指南。因此理解、熟悉这些文献十分必要;除此而外了解、掌握相关的检测仪器、仪表的功能、检测的方法、步骤以及测量数据的归纳整理与检测报告的规范化。
一、洁净室检测的类别
洁净室作为一个“受控环境”,具有不同于其他建筑工程的特点,尽管任何建筑工程都包括设计、交竣、日常维修等环节,而对于“受控环境”而言,特别是对洁净室,其设计与建设固然同样重要,但从某个角度来看,它只是提供了基本的“硬件”。“硬件”的性能是否适用,则需要通过调试、检测和综合评价予以确认,绝不可草率行事,匆匆投入正常运营,更重要的是还要建立一整套运行管理机制等“软件”,来保障其“受控”状态的持续。
洁净室的核心技术应包括:
洁净室的设计与建造
洁净室的检测与监测
洁净室的运行与维护
这三部分有机的组合成一体,构成了完整的相互关联的洁净室技术。其架构与关联见表1

二、洁净室验证/验收检测参数
室内送风量、系统总风量、室内排风量、静压差、截面平均风速、截面风速不均匀度、洁净度级别、沉降菌、浮游菌、室内温度、相对湿度、室温(或相对湿度)波动范围和区域温差、室内噪声级、室内倍频程声压级、室内照度和照度均匀度、表面导静电性能、自净时间。特殊要求,微震动、电磁屏蔽.
由图1可以清楚地看出,一个洁净室的建成和持续工作首先是根据建设方从生产、科研对洁净室(区)的需要出发,按照现行的国际、国内规范的约束与建议,科学地进行洁净室工程的设计。其主要内容有:
合理布置工艺流程和建筑平面;
选择满足洁净室特点的建筑构造与材料;
依据当时当地的能源供应背景,选定可靠和经济的动力及冷、热源;
划分和布置空调净化及排风系统;
选择相应的空调净化通风设备……
无论是新建或是重新改造洁净室,都应依照相关标准、规范,有关洁净室施工验收的要求建造洁净室及其相应的配套设施,这是洁净室的基础与硬件的实施阶段。
当洁净室施工结束后,面临的问题是建设方、承包商、工程监理单位、设计单位如何共同检验并认定洁净室的设计,施工质量是否符合建设方的需求?为此,按照惯例要对洁净室”进行“工程验收”。工程验收一般分为两个阶段进行。
第一个阶段是竣工验收;
第二个阶段是洁净室综合性能评价;
此外,对于一个正常使用中的洁净室为确保其始终处于设计所要求的“受控状态”,就必须进行定期或连续的监测,以考核洁净室的相关技术参数,判定其是否符合规定的“受控状态”。与其相关的一整套运行管理与体系,则是保障受控环境持续正常运营的“软件”。