气体检测

发布时间:2026-08-17 05:59 阅读次数:
气体检测

无锡凯眸环境科技面向半导体、医药、电子等行业的洁净室,提供气体检测第三方服务,覆盖压缩干燥空气(CDA)、氮气、特气管道、大宗气体及工艺尾气五大类,保障气体品质与生产安全。

一、检测范围(5 项)

  • CDA 压缩空气:油分、水分、颗粒物、露点
  • 氮气:纯度、水分、氧含量
  • 特气管道:纯度、残留、泄漏
  • 大宗气体:纯度与杂质
  • 工艺尾气:成分分析与排放合规

二、检测仪器

  • 露点仪、氧分析仪、水分分析仪
  • 气相色谱与质谱
  • 颗粒计数器与泄漏检测仪

三、依据标准

  • SEMI 系列气体标准
  • GB 相关工业气体标准
  • ISO 14644 及行业规范

四、服务流程

  1. 管道吹扫与置换
  2. 取样点确认与采样
  3. 实验室分析
  4. 数据复核
  5. 出具检测报告

五、适用对象

半导体、医药、电子等使用工艺气体与大宗气体的洁净厂房。

六、交付成果

  • 各气体检测报告
  • 纯度与杂质分析数据
  • 泄漏与安全评估建议
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电话

18911442575

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